LT200A 激光晶圓激光退火設(shè)備
制造商：中國（中科鐳特）
主要功能：晶圓激光退火
LT200A 是一臺(tái)智能化的晶圓激光退火系統(tǒng)。主要應(yīng)用于晶圓的熱處理工藝，包括晶圓合金化、注入退火和摻雜活化等。智能化體現(xiàn)在此系統(tǒng)配備圖像定位系統(tǒng)、自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)、溫度智能檢測、全自動(dòng)上下料系統(tǒng)和常規(guī)應(yīng)用的數(shù)據(jù)庫自動(dòng)調(diào)用系統(tǒng)。
技術(shù)特點(diǎn)
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高性能激光器 激光器、光束質(zhì)量好、穩(wěn)定性好、單脈沖能量高。 |
優(yōu)化的光學(xué)系統(tǒng) 光束整形，定制的平頂光斑提高退火溫度一致性和加工效率。 |
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完全自動(dòng)執(zhí)行 機(jī)器視覺定位，精度高，無需人工干預(yù)，操作簡單，效率高。 |
激光防護(hù)系統(tǒng) 符合工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的激光防護(hù)結(jié)構(gòu)，保證操作人員安全。 |
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