關于一種完全自對準導孔的半鑲嵌工藝
作者：網站管理員
來源：本站原創
日期：2023/1/21 11:45:39
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在邏輯半導體多層布線工程（BEOL）中，取代以往的雙鑲嵌（Dual damascene），半鑲嵌（Semi-damascene）可以將互連工藝流程發展至20nm以下的金屬間距，且效費比高。在半導體器件的制造過程中，在絕緣膜上形成布線溝槽和導孔（連接上下布線的布線溝槽）后，沉積布線金屬材料，同時填充二者，通過研磨使溝槽內僅留下布線金屬從而形成多層布線的方法。它區別于單鑲嵌（Single damascene）那種線路和導孔分別形成的方式。 例如銅這樣難以刻蝕的金屬也可以用作布線材料。由于布線金屬被研磨，因此無需層間的平坦化工序即可獲得平坦的布線結構，具有微細布線的多層化更加容易、減少制造工序數、降低制造成本的優點。 特別是在0.18μm規則之后的邏輯器件中，為了改善布線延遲采用的銅的雙鑲嵌布線方式大致可分為兩種：先形成布線凹槽后再形成導孔（trench first）、先形成導孔后再形成布線凹槽（via first）。
imec（微電子研究中心）在2022年超大規模集成工藝與電路大會IEEE VLSI Symposium on Technology and Circuits (VLSI 2022)上發表了如下標題的全球首次實驗性的18nm金屬間距的2層金屬層級的半鑲嵌（Semi-damascene）演示。
《First demonstration of two metal level semi-damascene interconnects with fully self-aligned vias at 18MP'》
即Interuniversity Microelectronics Centre成立于1984年，目前是歐洲領先的獨立研究中心，研究方向主要集中在微電子，納米技術，輔助設計方法，以及信息通訊系統技術（ICT）. IMEC 致力于集成信息通訊系統設計；硅加工工藝；硅制程技術和元件整合；納米技術，微系統，元件及封裝；太陽能電池；以及微電子領域的高級培訓。IMEC總部設在比利時魯汶（Leuven, Belgium）,雇員超過一千七百名，包括超過三百五十名常駐研究員及客座研究員。IMEC有一條0.13微米8寸試生產線并已通過ISO9001認證。IMEC年收入超過一億兩千萬歐元，均來自于其他合作者的授權協議及合約，包括比利時佛蘭芒(Flemish)當地政府及公司、歐共體、MEDEA+、歐洲航天局、設備原材料廠商、以及世界各地的半導體和系統廠商。
該論文的作者imec BEOL研發團隊的骨干研究員Gayle Murdoch和imec的納米互連項目總監Zsolt Tokei對此項技術的解說，強調了在狹小間距下導孔自對準（self-alignment）的重要性，并以一種易于理解的方式解釋了模塊的關鍵技術參數（導孔和線路的電阻值、可靠性等）。
在這20多年中，Cu雙鑲嵌一直是制作高可靠性互連的主力工藝流程。但是，隨著尺寸的縮放（比例縮小），金屬間距縮至20nm以下，BEOL(Back End Of Line:布線工程)中的RC延遲日益嚴重。這迫使從事互連（interconnect）研究的人開始尋找金屬間距小且具備優異性能指數的互連方案及金屬材料替代品。
大約5年前imec率先提出，在1nm（及今后更小的）技術節點中最重要的局部(Mx:x對應的是從下往上所占第幾層的層數)相互連接層的形成工藝方面，“半鑲嵌”可作為Cu雙鑲嵌的可行的替代方案。
圖1:imec的半鑲嵌工藝流程。(a)Ru刻蝕(底部局部互連線(Mx)的形成)、(b)填充縫隙、(c)孔的刻蝕、(d)向孔內埋入金屬和頂線(Mx+1) （出處:imec，以下皆是。)
與雙鑲嵌不同的是，半鑲嵌式堆積依靠互連金屬的直接圖案化(被稱為縮減金屬化)，不需要對金屬進行化學機械拋光（CMP）來完成布線工程。后續連接互連層的孔會以單鑲嵌方式進行圖案化，接著會被填充過量的金屬。也就是說層間絕緣膜電介質上會不斷沉積金屬直至形成金屬層。然后，對這個金屬層進行覆膜，刻蝕，形成擁有正交線的第2互連層。金屬圖案化之后，線間的空隙或用電介質填充、或在局部形成氣隙。
值得注意的是，半鑲嵌工藝同樣可以像以往的雙鑲嵌那樣一次形成2個層（孔和頂部金屬）。據此，通過和雙鑲嵌對照來看，半鑲嵌可以有效地提高成本競爭力（參考圖2）。
圖2:18nm金屬間距的Cu雙鑲嵌(左)和Ru半鑲嵌(右)的成本比較。
半鑲嵌工藝流程的優點
半鑲嵌，在狹小金屬間距方面相較于Cu雙鑲嵌有幾個優點。imec的納米互連項目總監Zsolt Tokei如下表示：
“半鑲嵌，首先可以適用于更大的長寬比，因此易于控制電容，在防止RC延遲方面有優勢。第二就是不用對金屬進行CMP工序，因而工序方案更精簡，效費比更高。最后就是半鑲嵌不同于Cu那樣需要鎢（W）、鉬（Mo）、釕（Ru）等無阻擋層且可圖案化的金屬，它使用不需要阻擋層的金屬，可以借由互連金屬自身來實現寶貴的導電區域的完全利用。這就確保了在尺寸縮放的情況下的導孔電阻值具有競爭力。” 當然了，即便加上上述優勢，這種替代方案要想被業界所接納還需要解決很多問題。朝此邁出的第一步，就是此次2個金屬層級的實際演示方案。在此之前，其優勢只是在虛擬與模型上展示過。完全自對準的導孔——重要的構成部分
對于20nm的狹小金屬間距工藝來說，細小線路上受控的導孔是半鑲嵌沉積模塊正常運作的關鍵。如果孔與線(孔的上部與下部)沒有對應到合適的位置，導孔與接觸到的線路之間有漏電的風險。這些漏電路徑會因為小小的導孔的圖案化而導致疊加誤差過大這一結果。
imec的技術員及骨干研究員Gayle Murdoch下述說到： “這個里程碑式的重要成果，是通過imec的集成、光刻、蝕刻和清洗團隊之間的密切合作實現的。借由imec的自我整體統籌方式，才成功地將疊加誤差控制在最大5nm。”
圖3:Mx沿線(左)及Mx間(右)的自對準導孔。X-TEM表示的是18nm間距Ru線路上自對準孔的位置。
通過間隙填充后選擇性地去除氮化硅保證了下方的自對準，在下方的金屬線邊緣上形成了導孔。與上方金屬層(Ru)的自對準，是通過導孔過度填充和Ru圖案化之后用到的Ru過刻蝕工序來實現的。
18nm間距中具有優越的耐受性和可靠性——首次演示
通過完全自對準的導孔，使用Ru的減法蝕刻，就得到了在18nm的金屬間距下運作的2金屬層級的元件。 把EUV光刻機與自對準雙圖案化(SADP)組合起來，將9nm的Ru下方局部互連線路(Mx)圖案化，再使用單EUV光刻機形成上方線路(Mx+1)和導孔。 將Cu與Ru的布線電阻和導電面積進行對比，無論是從形態學上還是從電力學上都證實了Ru是理想的金屬間層并且明顯要優于Cu。達到了優異的導孔電阻(26～18nm的金屬間距下，范圍在40～60Ω)、證實了>9MV/cm 的孔到線的介質擊穿電場。
圖4:Ru及Cu線的導電面積和線路電阻的關系。
Zsolt Tokei表示：“導孔與線路的電阻值與可靠性等在內的所有重要技術參數方面，我們都得到了優異的數值。這意味著，1nm技術節點之后首次3個局部互連層堆積所需的雙鑲嵌技術，可以用半鑲嵌工藝取代。imec的這個具備了完全自對準導孔的2金屬層級器件證明了其重要的里程碑式的價值。”
如果在保留氣隙(保證靜電容量)的同時，加大線路的長寬比(減少電阻)，該技術還有更大的改進空間。imec把繼續推進中間工序(MOL)及使用半鑲嵌技術(能夠在標準單元層面上進一步減少面積的技術)的BEOL技術作為了今后的研究方向。
